凈化級別：

100級@≧0.3μm

凈化標準：

美聯邦標準209E

平均風速：

0.2-0.6M/S

氣流形式：

豎直垂直流(30%-70%廢外排)

噪    音：

<=60dB(A)

震    動：

X.Y.Z方向均<=1um

外形尺寸：

(L)1450*(W)800*(H)2350[mm]

工 作 區：

(L)1150*(W)700*(H)700[mm]

光 照 度：

≧350LX

照    明：

30W日光燈及紫外線燈各一套

電    源：

200-250V/50-60Hz

峰值功率：

750W

重    量：

510kg